Análisis de efectividad de barreras de difusión en un sistema de multicapas Ti-Al-C crecidas por pulverización catódica de radiofrecuencia.

Este estudio evalúa la efectividad de distintas barreras de difusión en el crecimiento de películas delgadas multicapa de Ti–Al–C depositadas sobre sustratos de silicio recubiertos con distintas barreras de difusión mediante pulverización catódica. Durante la síntesis de este tipo de recubrimientos, la difusión entre el sustrato y las capas depositadas puede alterar la estequiometría, la estructura y las propiedades ópticas o eléctricas de las películas, dificultando la obtención de fases MAX, como Ti3AlC2. Para este fin, se emplearán cinco grupos de 5 sustratos de silicio (1 cm^2, 1 mm de espesor), cada uno con una configuración distinta de barrera de difusión: SiO2 de 100 nm, TiN de 100 nm, Si-N de 100 nm, SiC de 100 nm y un grupo de sustratos sin recubrimiento. Las multicapas Ti–Al–C se depositarán bajo condiciones de plasma previamente establecidas a partir de estudios de monocapas, utilizadas como referencia. Las películas obtenidas serán caracterizadas mediante perfilometría, SEM, EDS, elipsometría, espectroscopía Raman y difracción de rayos X, con el objetivo de comparar la efectividad de cada barrera de difusión en la calidad de los recubrimientos.

RODRIGUEZ ALFEREZ ,BRUNO GONZALO